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FFU送风方式在净化空调系统中的应用

1、随着生产工艺的不断发展，微电子工业对环境及其配套工程的要求越来越严格，其产品的成品率和可靠性主要取决于材料的纯度和制造环境的洁净度，对洁净技术的要求越来越高。洁净室(区)是指空气悬浮粒子浓度、含菌浓度受控的房间(限定的空间)。

传统的净化空调系统主要采用集中送风方式，即空气处理设备(加热器、冷却器、加湿器。粗、中效过滤器等)和风机均集中设置在空调机房内，高效过滤器布置在系统的末端，并以集中的送、回风管道把空气处理设备和洁净室相连接。这种方式**大的缺点在于适应性较差，如果房间的洁净度需要调整，几乎是不可能的。近年来，净化空调系统出现了一种新的送风方式：风机过滤单元(FanFilterUnit简称FFU)送风方式。该方式空气由FFU送到洁净室，从回风静压箱经两侧夹道回至送风静压箱，在回风夹道设干式表冷器处理洁净室内负荷。新风处理机可集中设在空调机房内，处理后新风直接送入送风静压箱。这种送风方式适应能力较强，在某半导体制造项目净化空调系统采用了FFU送风方式，本文结合该工程实例与传统的集中送风方式进行比较。